027 Кафедра микро- и наноэлектроники
Описание:
Результатом освоения учебной дисциплины является формирование знаний по технологии изготовления кремниевых интегральных микросхем. Дисциплина изучается в течение двух семестров, охватывая такие вопросы, как процесс подготовки подложек кремния, химическое травление, диффузию примесей в подложке, легирование, эпитаксиальное наращивание кремния и его окисление; фотолитографию и типовые технологические процессы получения толкопленочных и толстопленочных структур.
Структура:
| Семестр |
Всего (ч) (Лекц / Практ. / Лаб.) |
Аттестация |
| 7 |
108 (30 / 15 / 15) |
Экзамен |
| Итого |
108 (30 / 15 / 15) |
Экзамен |
Компетенции:
- ПК-8 - Способен выполнять постановку и эксплуатацию определенного технологического процесса или блока технологических операций по производству материалов и изделий электронной техники
- ПК-9 - Способен выполнять определенный тип измерительных или контрольных операций при исследовании параметров полупроводниковых приборов и устройств или в технологическом процессе по производству материалов и изделий электронной техники
- ПК-17 - Способен оценивать эффективность внедрения новых методов и способов измерения или проектирования или изготовления материалов или изделий электронной техники
- ПК-10.1 - Способен применять методы и концепции экспериментальной физики конденсированного состояния вещества, лазерной физики, фотоники, физики микро- и наносистем для решения технических, технологических и функциональных проблем при создании и эксплуатации элементов и устройств, функционирующих на принципах наноэлектроники и нанофотоники
Задачи воспитания:
- В14 - формирование глубокого понимания социальной роли профессии, позитивной и активной установки на ценности избранной специальности, ответственного отношения к профессиональной деятельности, труду
- В15 - формирование психологической готовности к профессиональной деятельности по избранной профессии
- В17 - формирование чувства личной ответственности за научно-технологическое развитие России, за результаты исследований и их последствия
- В18 - формирование ответственности за профессиональный выбор, профессиональное развитие и профессиональные решения
- В20 - формирование навыков коммуникации, командной работы и лидерства
- В21 - формирование способности и стремления следовать в профессии нормам поведения, обеспечивающим нравственный характер трудовой деятельности и неслужебного поведения
- В35 - формирование ответственности и аккуратности в работе с опасными веществами и при требованиях к нормам высокого класса чистоты
- В36 - формирование коммуникативных навыков в области разработки и производства полупроводниковых изделий